目前中国没有唯一一家EUV上市公司，尚无已实现EUV光刻机商业化量产的上市公司 。中国EUV光刻技术正处于研发突破阶段 ，核心进展主要集中在科研机构和非上市企业 。在整机研发方面 ，上海微电子是国内EUV整机攻关主体，不过它并未上市。
先导基电这是A股上市公司中唯一官宣自主研制EUV光源的企业 。其在浙江衢州投资13亿元建设生产项目 ，规划5套EUV光源产能 ，产线预计2026年上半年投产，目前处于建设阶段 。 xLight这是一家获得美国官方投资的初创公司 ，其目标是开发基于自由电子激光器（FEL）的下一代EUV光源。
国内生产光刻胶的主要上市公司如下： 高端半导体光刻胶（ArF/KrF）核心厂商南大光电：国内唯一量产ArF光刻胶（可用于28nm工艺）的企业 ，良率达97%，现有产能50吨/年，宁波500吨/年新产能预计2025年底达产 ，客户包括长江存储、长鑫存储 。
020年光刻机领域唯一被市场关联的上市公司为智光电气（股票代码002169） ，但需明确其主营业务与光刻机制造无直接关联，市场关联性主要源于特定业务场景或技术领域的间接联系 。以下为详细说明：核心业务背景智光电气的主营业务集中于电网安全控制 、电机节能 、供电自动化及电力信息系统领域。
020年光刻机唯一上市公司为智光电气 ，股票代码002169。智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备 、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发 、设计、生产和销售 。
奥普光电作为长春光机所控股下的唯一上市公司平台 ，具有独特的行业地位和技术优势 。以下是对该公司的详细分析：技术背景与研发实力：奥普光电依托长春光机所的技术支持，拥有强大的研发实力。长春光机所是我国光学领域的重要科研机构 ，其科研成果和技术积累为奥普光电提供了坚实的技术支撑 。
大族激光（002008）大族激光在研光刻机项目分辨率达3-5μm ，主要聚焦分立器件 、LED等领域，2020年有望实现小批量销售 。公司作为光刻机概念龙头 ，多次被提及在光刻机研发中的进展 ，其技术方向与国产光刻机产业化进程密切相关。
茂莱光学公司为光刻机光学系统提供关键光学器件和组件，包括用于匀光 、中继照明模块的光学器件、投影物镜 ，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件 。这些是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块 ，在光刻机运行中起着不可或缺的作用，为光刻机的高精度成像和稳定工作提供了重要支持 。
光刻机是制造芯片的核心装备，其龙头上市公司有大族激光、雅克科技 、航天智造 、圣泉集团、张江高科等。以下是对这些公司的详细介绍：大族激光（00200SZ）公司地位：大族激光公司承担建设的主要科研项目被国家科技部火炬高新技术产业中心认定为“国家级火炬计划项目” 。
茂莱光学公司为光刻机光学系统提供关键光学器件和组件 ，包括用于匀光 、中继照明模块的光学器件 、投影物镜 ，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件 。这些是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块，在光刻机运行中起着不可或缺的作用 ，为光刻机的高精度成像和稳定工作提供了重要支持。
目前中国没有唯一一家EUV上市公司 ，尚无已实现EUV光刻机商业化量产的上市公司 。中国EUV光刻技术正处于研发突破阶段，核心进展主要集中在科研机构和非上市企业 。在整机研发方面 ，上海微电子是国内EUV整机攻关主体 ，不过它并未上市。
奥普光电：长春光机所旗下上市公司，参与光刻机光学部件的研发。炬光科技：为ASML提供光刻机曝光系统中的核心元器件——光场匀化器 。南大光电：国内唯一实现ArF光刻胶量产的企业 ，产品直接用于高端芯片制造 。茂莱光学：专注于精密光学器件、光学镜头及光学系统的研发 、设计和制造。
1 、光刻机是制造芯片的核心装备 ，其龙头上市公司有大族激光、雅克科技 、航天智造 、圣泉集团、张江高科等 。以下是对这些公司的详细介绍：大族激光（00200SZ）公司地位：大族激光公司承担建设的主要科研项目被国家科技部火炬高新技术产业中心认定为“国家级火炬计划项目 ” 。
2 、中国股市中8只光刻机相关产业链的上市公司如下：蓝英装备（300293）公司精密清洗设备面向高端芯片制造行业，客户包括光刻机制造企业的合资（参股）公司 ，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。
3 、涉及光刻机产业链的A股上市公司主要有核心部件供应商、设备配套企业及材料领域公司 ，2025年受市场关注的有福晶科技、同飞股份 、王子新材 、东方钽业、安泰科技等，投资者要结合业务关联性和业绩表现综合判断 。
